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設備介紹
GNX300B
l日本OKAMOTO生產
l減薄尺寸：8”~12”
l極限減薄厚度：100um
l轉速：0~3600rpm
l最小移動量：1um
l單片誤差：10um內
l片間誤差：±5um內
VG502-MKII 8B
l日本OKAMOTO生產
l減薄尺寸：5”~8”
l極限減薄厚度：100um
l轉速：0~3600rpm
l最小移動量：1um
l單片誤差：10um內
l片間誤差：±5um內
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